您当前的位置:首页 > 科研成果 > 论文

论文

论文题目 大口径非球面镀膜均匀性分析与修正挡板设计
作者 程敏;艾力·伊沙木丁;孙正文等
发表年度 2017
刊物名称 真空科学与技术学报